Resumo
Com a crescente miniaturização de sistemas elétricos e mecânicos surgiu uma nova classificação desses dispositivos, os quais foram chamados de MEMS e NEMS (Micro and Nano Electro Mechanical Systems) e consequentemente surgiu à necessidade cada vez maior do controle preciso de diversos parâmetros físicos em escala micro e nanométrica. Dessa forma uma das áreas ainda pouco explorada está li…