Resumo
O controle dos mecanismos de corrosão por plasma é de grande importância nos dias atuais para a fabricação de micro e nanodispositivos. Nos últimos anos, uma série de trabalhos tem sido feito no CCS da UNICAMP, em colaboração com outros laboratórios, para atingir esse intento. Contudo, devido à falta de diagnósticos de plasmas, muitos processos ainda continuam obscuros. Pretendemos assim …