Resumo
Este projeto tem como principal objetivo a produção filmes de GaN, AlGaN e InGaN e heteroestruturas multicamadas de AlGaN/GaN e InGaN/GaN pela técnica de sputtering reativo para aplicações em dispositivos/sensores a base de ondas acústicas de superfícies (SAW). Visa-se obter camadas com nanoestrutura ordenada, alto grau de cristalização e textura, além de superfícies e interfaces bem defi…