Resumo
O presente projeto de pesquisa está relacionado ao desenvolvimento de um software para simulação/visualização atomística de processos de microfabricação utilizados na fabricação de sistemas micro-eletro-mecânicos (MEMS). Devido à complexidade de operação e fabricação desses dispositivos, que rotineiramente exigem várias etapas de microfabricação, é de grande interesse contar com software …