Resumo
Este trabalho contempla o desenvolvimento de sensores piezorresistivos baseados em filmes finos de DLC dopados com diferentes elementos, que possibilitem sua aplicação em ambientes agressivos. Os filmes serão depositados pela técnica de sputtering, com a qual será realizada uma sistemática análise da influência das variáveis de controle do reator de deposição sobre as propriedades dos fil…