CV Lattes
Universidade de São Paulo (USP). Escola Politécnica (EP) (Instituição Sede da última proposta de pesquisa) País de origem: Brasil
Tem experiência na área de Engenharia Elétrica, com ênfase em Transmissão e Distribuição da Energia Elétrica. (Fonte: Currículo Lattes)
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O presente trabalho pretende estudar e otimizar o processo liberação dos RF MEMS fabricados com tecnologia CMOS comercial em desenvolvimento no LME. Pretende-se estudar os mecanismos de corrosão por RIE e otimizar este processo. A corrosão por HF vapor também será estudada visando a melhorar a reprodutibilidade da corrosão e eliminar os resíduos que aparecem após este processo. Um process…
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