Resumo
O projeto é dedicado ao estudo de processos envolvidos em fabricação de dispositivos semicondutores, tais como foto-litografia, ataque químico e preparação de contatos ôhmicos. Estes processos são considerados como uma parte da tecnologia "planar". Usando este procedimento vamos preparar estruturas à serem usadas em estudo de propriedades de transporte eletrônico em sistemas de baixa dime…