Resumo
A tecnologia SOI tem demonstrado grande potencial para ser utilizada na fabricação de circuitos integrados em escala de integração muito ampla (ULSI). Nesta tecnologia, os dispositivos são implementados em lâminas de silício sobre isolante (Silicon On Insulator - SOI). Além desta esta tecnologia já tem sido usada com sucesso em aplicações específicas que requerem alta resistência à radiaç…