Cálculo de espectros de fotoelétrons pelo uso da teoria de funcional de densidade: aplicação a modelos para nanoestruturas dielétricas utilizadas em microeletrônica avançada

Resumo

A tecnologia microeletrônica baseada em silício encontra-se ameaçada de estagnação devido ao esgotamento de filmes ultrafinos de óxido de silício como isolantes elétricos. Dielétricos alternativos vêm sendo intensamente estudados. A espectroscopia de fotoelétrons com raios-X (XPS) é uma técnica única por permitir a caracterização química desses materiais em escala atômica. Nosso objetivo é o estudo de materiais alternativos ao óxido de silício utilizando-se principalmente teoria de funcional de densidade para a simulação de espectros de XPS, sendo que para tanto metodologias semi-empíricas, ab initio e métodos estatísticos também serão necessários. Como isso pretendemos compreender um pouco mais as características destes materiais que são indispensáveis para o homem após o início da era digital. (AU)