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(Referência obtida automaticamente do SciELO, por meio da informação sobre o financiamento pela FAPESP e o número do processo correspondente, incluída na publicação pelos autores.)

Growth and Characterization of Polycrystalline CVD Diamond Films Obtained by MWPACVD at High Power 2,45GHz Microwave Discharge

Texto completo
Autor(es):
J. V. Silva Neto [1] ; J. S. Gómez [2] ; E. J. Corat [3] ; V. J. Trava-Airoldi [4]
Número total de Autores: 4
Afiliação do(s) autor(es):
[1] Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais - Brasil
[2] Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais - Brasil
[3] Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais - Brasil
[4] Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais - Brasil
Número total de Afiliações: 4
Tipo de documento: Artigo Científico
Fonte: MATERIALS RESEARCH-IBERO-AMERICAN JOURNAL OF MATERIALS; v. 25, 2022-09-05.
Resumo

Among all the allotropic forms of carbon, diamond has attracted a broad scientific and technological interest for its extreme and unique properties rarely matched by other materials in nature. In a rapid rise from a technological point of view, much has been achieved in the study of obtaining this material through CVD technique. Studies of CVD diamond growth parameters of monocrystalline structure, underway in the team, are very expensive and time-consuming requiring in-depth studies of CVD diamond growth parameters of polycrystalline structure. So, this work presents an analysis focused on obtaining CVD diamond films with polycrystalline structure through the 2.45 GHz microwave plasma activation method (MWPACVD) in high power regime using a modified substrate holder to find a set of parameters appropriated for getting uniform quality and growth rate of thick films. The films were characterized using Raman scattering spectroscopy and scanning electron microscopy. The results point to optimized conditions for depositing films with growth rates of up to 20 µm/h with low levels of intrinsic stress, good structural quality and uniform microcrystalline morphology along the deposition surface. (AU)

Processo FAPESP: 12/15857-1 - Estudos científicos e aplicações inovadoras em diamante-CVD, Diamond-Like Carbon (DLC) e carbono nanoestruturado, obtidos por deposição química na fase vapor
Beneficiário:Vladimir Jesus Trava-Airoldi
Modalidade de apoio: Auxílio à Pesquisa - Temático
Processo FAPESP: 19/18572-7 - Novos materiais de carbono: suas aplicações espaciais, ambientais e spin offs relevantes
Beneficiário:Evaldo Jose Corat
Modalidade de apoio: Auxílio à Pesquisa - Temático