Processos de fabricação micromecânica em semicondutores

• Processo: 95/01493-0
• Modalidade de apoio: Auxílio à Pesquisa - Regular
• Data de Início da vigência: 01 de junho de 1995
• Data de Término da vigência: 31 de dezembro de 1998
• Área do conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos
• Pesquisador responsável: José Roberto Sbragia Senna
• Beneficiário: José Roberto Sbragia Senna
• Instituição Sede: Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE). Ministério da Ciência, Tecnologia e Inovação (Brasil). São José dos Campos , SP, Brasil
• Assunto(s): Processos de fabricação Semicondutores Microeletrônica Micromecânica Silício
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Microeletronica | Micromecanica | Semicondutores | Silicio

Resumo

Pesquisa experimental em processos de fabricação micromecânica. Serão realizados experimentos visando elucidar aspectos científicos e práticos de: - corrosão anisotrópica do silício em solução de KOH e de (CH3)H N OH; - deposição de vidros sobre Si por sputtering e evaporação; adesão silício-silício com camada intermediária de vidro depositário; adesão silício-silício com camada intermediária de SiO2 térmico; adesão silício-silício com camada intermediária de Si3NH CVD; adesão silício (outros semicondutores), adesão silício-vidro; - dopagem de silício com gálio. (AU)