Pesquisa e desenvolvimento de plasmas para aplicações em fabricação de circuitos integrados e micromáquinas

• Processo: 01/13741-1
• Modalidade de apoio: Auxílio à Pesquisa - Regular
• Data de Início da vigência: 01 de março de 2003
• Data de Término da vigência: 31 de agosto de 2005
• Área do conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos
• Pesquisador responsável: Patrick Bernard Verdonck
• Beneficiário: Patrick Bernard Verdonck
• Instituição Sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
• Assunto(s): Microeletrônica Circuitos integrados Micromáquinas Corrosão por plasma
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Caracterizacao | Corrosao | Microeletronica | Micromaquinas | Plasma

Resumo

Corrosão e deposição por plasma são técnicas indispensáveis para a fabricação de circuitos integrados e micromáquinas. Neste projeto pretendemos combinar pesquisa básica com desenvolvimento de processos. Programas de simulação por plasma serão verificados e melhorados, utilizando medidas de plasmas reais com sondas eletrostáticas e de fluxo de íons e com medidores de tensão e corrente. Desta maneira também melhoraremos os conhecimentos sobre mecanismos de corrosão por plasma. Desenvolveremos (utilizando estes novos conhecimentos sobre os mecanismos) novos processos de corrosão de silício, óxido de silício e polímeros. (AU)