Arquitetura de superficies em filmes finos.

• Processo: 02/12002-3
• Modalidade de apoio: Auxílio à Pesquisa - Regular
• Data de Início da vigência: 01 de março de 2003
• Data de Término da vigência: 31 de dezembro de 2005
• Área do conhecimento: Ciências Exatas e da Terra - Física - Física da Matéria Condensada
• Pesquisador responsável: Annette Gorenstein
• Beneficiário: Annette Gorenstein
• Instituição Sede: Instituto de Física Gleb Wataghin (IFGW). Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Campinas , SP, Brasil
• Assunto(s): Filmes finos Microscopia de força atômica Litografia Leis de escala
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Afm | Filmes Finos | Intercalacao | Leis De Escala | Litografia

Resumo

O presente projeto propõe o desenvolvimento e estudo de metodologia para controle da morfologia de superfícies em filmes finos. É objetivo do projeto a deposição de filmes finos pela técnica de sputtering em incidência oblíqua, o estudo da dinâmica de crescimento através de leis de escala. É também objetivo deste projeto a formação de padrões intencionais em filmes finos, particularmente arquiteturas apresentado túneis. Em ambos os casos, serão estudadas as implicações destas modificações no comportamento do material ativo frente à intercalação. (AU)