Micro e nanoestruturas em filmes finos.

• Processo: 04/00954-5
• Modalidade de apoio: Auxílio à Pesquisa - Regular
• Data de Início da vigência: 01 de junho de 2004
• Data de Término da vigência: 31 de julho de 2007
• Área do conhecimento: Ciências Exatas e da Terra - Física - Física da Matéria Condensada
• Pesquisador responsável: Maria Cecília Barbosa da Silveira Salvadori
• Beneficiário: Maria Cecília Barbosa da Silveira Salvadori
• Instituição Sede: Instituto de Física (IF). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
• Assunto(s): Materiais nanoestruturados Microestruturas Sistemas microeletromecânicos Filmes finos
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Bocais Sonicos | Filmes Finos | Mems | Microestruturas | Nanoestruturas | Parametros Criticos

Resumo

Este projeto aborda o tema proposto sob diversos aspectos. O primeiro é a caracterização de propriedades mecânicas e elétricas de filmes finos nanoestruturados. Outro aspecto é o estudo da dinâmica de crescimento de filmes finos, onde grandezas fundamentais tais como: tamanho de grãos, rugosidades e distâncias de correlação das superfícies dos filmes serão medidas e analisadas do ponto de vista da física básica. O terceiro enfoque é o estudo da reprodutibilidade de microestruturas em filmes de diamante e de deformações morfológicas em microestruturas recobertas com filmes finos. Como parte final do projeto propomos a fabricação de um dispositivo do tipo MEMS (Micro Electro Mechanical Systems), mais especificamente, placas contendo diversos bocais sônicos submilimétricos de diamante, com micro controle de abertura e fechamento seletivo, através de acionamento elétrico. (AU)