1) amorphous hydrogenated fluorinated carbon films produced by pecvd. 2) structural and optical properties of tiox-like films produced by pecvd.

• Processo: 96/01000-7
• Modalidade de apoio: Auxílio à Pesquisa - Reunião - Exterior
• Data de Início da vigência: 22 de abril de 1996
• Data de Término da vigência: 26 de abril de 1996
• Área do conhecimento: Ciências Exatas e da Terra - Física - Física dos Fluídos, Física de Plasmas e Descargas Elétricas
• Pesquisador responsável: Steven Frederick Durrant
• Beneficiário: Steven Frederick Durrant
• Instituição Sede: Pessoa Física
• Assunto(s): Filmes finos
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Actinometria Convencional | Actinometria Dinamica | Espectroscopias Opticas | Filmes Finos | Polimerizacao A Plasma