Studies of a hollow cathode discharge using mass spectrometry and electrostatic probe techniques.

• Processo: 04/09869-0
• Modalidade de apoio: Auxílio à Pesquisa - Reunião - Exterior
• Data de Início da vigência: 25 de outubro de 2004
• Data de Término da vigência: 29 de outubro de 2004
• Área do conhecimento: Ciências Exatas e da Terra - Física - Física dos Fluídos, Física de Plasmas e Descargas Elétricas
• Pesquisador responsável: Homero Santiago Maciel
• Beneficiário: Homero Santiago Maciel
• Instituição Sede: Instituto Tecnológico de Aeronáutica (ITA). Ministério da Defesa (Brasil). São José dos Campos , SP, Brasil
• Assunto(s): Espectrometria de massas Filmes finos
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Aluminum Nitride Film | Hollow Cathode Discharge | Langmuir Probe | Mass Spectrometry | Nitrogen Discharge | Thin Film