Projeto de filme sensor para medida de umidade em superfícies e para proteção contra radiação ultravioleta

• Processo: 02/10676-7
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Mestrado
• Data de Início da vigência: 01 de abril de 2003
• Data de Término da vigência: 30 de setembro de 2004
• Área de conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos
• Pesquisador responsável: Maria Lúcia Pereira da Silva
• Beneficiário: Rodrigo Amorim Motta Carvalho
• Instituição Sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
• Assunto(s): Microeletrônica Sensores Filmes finos
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Microeletronica | Plasma | Sensor | Tecnologia Limpas | Teos | Umidade

Resumo

O presente projeto de pesquisa refere-se ao estudo de viabilidade técnica do uso de filmes obtidos pela polimerização por plasma de TEOS, e possível desenvolvimento de sensor, para detecção de umidade. Para tanto, ensaios específicos e respectivo método de análise, serão desenvolvidos. O filme em questão também será testado quanto às suas propriedades para proteção de substratos expostos à radiação ultravioleta. Por fim, é importante determinar características específicas desse filme, como por exemplo porosidade e especificidade de adsorção. (AU)