Modelamento e fabricação de chaves rf mems de baixo custo

• Processo: 12/18754-9
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Iniciação Científica
• Data de Início da vigência: 01 de outubro de 2012
• Data de Término da vigência: 30 de setembro de 2013
• Área de conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica
• Pesquisador responsável: Gustavo Pamplona Rehder
• Beneficiário: Flavio Rene Miranda Pavan
• Instituição Sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
• Vinculado ao auxílio: 11/18167-3 - RF MEMS em ondas milimétricas utilizando processo CMOS comercial, AP.JP
• Assunto(s): Microeletrônica Medidas elétricas Sistemas microeletromecânicos Baixo custo Método dos elementos finitos
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Chaves MEMS | Mems | processos de Microelectrônica | Simulação comportamental de MEMS | Simulação por elementos finitos de MEMS | Microeletrônica

Resumo

O seguinte projeto de iniciação científica envolve o modelamento e a fabricação de chaves micro-eletro-mecânicas (MEMS) para aplicação em rádio-frequências (RF), para integração em filtros patch de bandas selecionáveis. O objetivo é dar continuidade a estudos prévios em que este tipo de dispositivos foi projetado e simulado e sua fabricação iniciada. Este projeto se insere no contexto do projeto Jovem Pesquisador FAPESP (Processo No 2011/18167-3) que tem entre seus objetivos o desenvolvimento de sistemas micro-eletro-mecânicos (RF MEMS) para aplicações em ondas milimétricas. Este trabalho será dividido em duas frentes de trabalho que serão desenvolvidas simultaneamente. Em uma delas, as chaves MEMS serão modeladas e seus comportamentos eletromecânico e RF serão simulados. A outra será direcionada à fabricação e teste das chaves. Inicialmente será feito um modelo de elementos concentrados (massa-mola-amortecedor) que permitirá um melhor entendimento do funcionamento da chave RF MEMS. Visando aprimorar o modelo de elementos concentrados, será feito um modelo de elementos finitos e os resultados obtidos serão comparados a medidas elétricas dos dispositivos que serão fabricados. Finalmente, as chaves RF MEMS serão incorporadas ao filtro desenvolvido e seu comportamento será medido. Embora se trate de um trabalho de iniciação científica, a pesquisa proposta tem aspectos originais e em função disso são esperados resultados relevantes para a área em questão, com possibilidades concretas de publicação, inclusive em congressos ou revistas especializadas de alto nível.