Estudo e caracterização de filmes de carbono tipo diamante (DLC-Diamond Like Carbon) para aplicação em dispositivos ópticos

• Processo: 02/08822-5
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Iniciação Científica
• Data de Início da vigência: 01 de novembro de 2002
• Data de Término da vigência: 31 de outubro de 2004
• Área de conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos
• Pesquisador responsável: Ronaldo Domingues Mansano
• Beneficiário: Marina Sparvoli de Medeiros
• Instituição Sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
• Assunto(s): Materiais ópticos Guias de onda Filtros ópticos Filmes finos de carbono tipo diamante (DLC)
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Deposicao Por Sputtering | Diamond Like Carbon | Filmes De Carbono | Filtros Opticos | Guias De Onda | Materiais Opticos

Resumo

Nesse trabalho serão desenvolvidos processos de deposição de filmes de carbono tipo diamante (DLC) por sputtering reativo. Utilizando este sistema, poderemos depositar filmes de carbono em baixas temperaturas (<400 ºC) visando aplicações em dispositivos ópticos, tal como, filtros e guias de onda e como camada de proteção química em dispositivos ópticos tanto em quartzo, como em vidro óptico e policarbonato (deposição abaixo de 200ºC). O trabalho será realizado em um sistema de sputtering reativo que utiliza um alvo de carbono, e como gases reativos o metano (CH4), o freon (CF4), o hidrogênio (H2) e o argônio (Ar), neste sistema podemos variar a composição gasosa, a pressão de trabalho e a potência RF. Também é objetivo deste trabalho verificar a influência dos parâmetros de processo (pressão, potência RF, temperatura, composição gasosa) nas características dos filmes depositados. (AU)