Fabricação e caracterização de ressonadores de microdiscos de InGaAsP/InP com pontes de platina por sistema de feixe de íons focalizados (FIB)

• Processo: 10/06726-5
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Iniciação Científica
• Data de Início da vigência: 01 de agosto de 2010
• Data de Término da vigência: 31 de dezembro de 2010
• Área de conhecimento: Ciências Exatas e da Terra - Física - Física da Matéria Condensada
• Pesquisador responsável: Newton Cesario Frateschi
• Beneficiário: Elohim Fonseca dos Reis
• Instituição Sede: Instituto de Física Gleb Wataghin (IFGW). Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Campinas , SP, Brasil
• Assunto(s): Laser
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: laser | Componentes Optoeletrônicos

Resumo

Neste trabalho propomos estudar a fabricação e caracterização de estruturas de microdiscos em InGaAsP/InP com injeção de corrente através de pontes de platina. Utilizaremos um processo híbrido que envolve etapas de litografia óptica, corrosão para formação dos microdiscos e deposição das pontes de platina, sendo essas duas últimas etapas feitas com um Feixe de Íons Focalizados (FIB). A fabricação utilizando o FIB mostrou bastante eficiência na obtenção de dispositivos com excelente qualidade e com baixa rugosidade das paredes . Além disso, uma vez que a injeção de corrente será feita em um contato separado do dispositivo e ligado ao mesmo pela ponte de platina, será possível reduzir as dimensões destes dispositivos. Assim, com a redução do tamanho será possível diminuir o número de modos na sua cavidade ressonante. Paralelamente à fabricação, será dada atenção ao estudo teórico envolvido nestes dispositivos, o que possibilitará uma bagagem teórica para trabalhar na sua caracterização optoeletrônica.