Aplicacao de cargas em dispositivos mems.

• Processo: 03/08040-0
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Iniciação Científica
• Data de Início da vigência: 01 de novembro de 2003
• Data de Término da vigência: 31 de outubro de 2004
• Área de conhecimento: Engenharias - Engenharia Mecânica
• Pesquisador responsável: Amilton Sinatora
• Beneficiário: Renato Vergueiro Otake
• Instituição Sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
• Assunto(s): Filmes finos
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Filmes Finos | Mecanismos De Falhas | Microdispositivos (Mems) | Oxinetreto De Silicio | Vigas Atuadas Termicamente

Resumo

Um fator importante para utilização de microdispositivos (sensores e atuadores) é o conhecimento de suas propriedades mecânicas, elétricas e térmicas, bem como a compreensão dos mecanismos de falhas observados durante sua operação. Em trabalhos realizados recentemente na Escola Politécnica da Universidade de São Paulo, desenvolveu-se a produção e caracterização do comportamento mecânico de microvigas atuadas termicamente. Num desses trabalhos (bolsa FAPESP 00/01068-8, Marcelo Silva Guimarães) foi proposto um modelo matemático novo para deflexão de vigas submetendo-as a tensões crescentes, nesse trabalho atribuíram-se algumas discrepâncias entre modelo e experimento ou mecanismos de falha das vigas ocorrido não ficou completamente elucidado, sendo este, então o objetivo deste pedido de bolsa. O trabalho proposto para esta bolsa será a investigação destas discrepâncias através da criação de microvigas pelo mesmo método usado por Marcelo Silva Guimarães e uma posterior aplicação de carregamentos cíclicos, e observação da criação de falhas nesses dispositivos. (AU)