Utilização da tecnologia LTCC (low temperature cofired ceramics) para a fabricação de microválvula híbrida adequada para microsistemas analíticos

• Processo: 98/06471-3
• Modalidade de apoio: Bolsas no Exterior - Pesquisa
• Data de Início da vigência: 28 de agosto de 1998
• Data de Término da vigência: 27 de dezembro de 1998
• Área de conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica - Medidas Elétricas, Magnéticas e Eletrônicas, Instrumentação
• Pesquisador responsável: Mario Ricardo Gongora Rubio
• Beneficiário: Mario Ricardo Gongora Rubio
• Pesquisador Anfitrião: Jorge Santiago Aviles
• Instituição Sede: Instituto de Pesquisas Tecnológicas S/A (IPT). Secretaria de Desenvolvimento Econômico (São Paulo - Estado). São Paulo , SP, Brasil
• Instituição Anfitriã: University of Pennsylvania, Estados Unidos
• Assunto(s): Sistemas microeletromecânicos Válvulas Cerâmica (materiais cerâmicos)
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Mems | Microeletronica Hibrida | Microfludica | Sensores E Atuadores | Tecnologia De Filme Espesso | Tecnologia Ltcc

Resumo

Nesta fase da pesquisa, objeto do presente plano de pesquisa apresentado à FAPESP, abordaremos o projeto, desenvolvimento e fabricação de micro-válvula eletromagnética sem partes móveis, adequada para gases e líquidos, usando de forma híbrida as seguintes tecnologias: - LTCC de cerâmicas verdes - Filmes espessos - Silício e processos associados. (AU)