Análise quantitativa na fidelidade de microestruturas em réplicas de diamante e recobrimentos de DLC

• Processo: 02/00765-2
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Doutorado
• Data de Início da vigência: 01 de julho de 2002
• Data de Término da vigência: 30 de junho de 2005
• Área de conhecimento: Engenharias - Engenharia de Materiais e Metalúrgica - Materiais Não-metálicos
• Pesquisador responsável: Maria Cecília Barbosa da Silveira Salvadori
• Beneficiário: Deilton Reis Martins
• Instituição Sede: Instituto de Física (IF). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
• Assunto(s): Diamante
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Diamanter | Dlc | Filmes | Microestruturas | Microfabricacao | Replicas

Resumo

Uma forma de utilizar o diamante para fabricação de microestruturas é utilizar o silício com molde: são criadas microestruturas em silício, então um filme de diamante é depositado sobre esse substrato e, então, o silício é corroído, obtendo-se uma réplica da microestrutura. Nessa técnica fica clara a importância da fidelidade morfológica da réplica de diamante, com relação ao molde de origem. Assim, uma das propostas deste projeto é o de analisar quantitativamente a fidelidade de reprodução de microestruturas em filmes de diamante, utilizando microestruturas fabricadas em silício. Outro aspecto que será abordado é a fidelidade morfológica de microestruturas após a deposição de DLC sobre microestruturas em silício, pois o DLC é um material muito interessante para ser utilizado como recobrimento protetor em micro-dispositivos fabricados em silício. (AU)

Publicações acadêmicas

(Referências obtidas automaticamente das Instituições de Ensino e Pesquisa do Estado de São Paulo)

MARTINS, Deilton Reis. Análise quantitativa na fidelidade de microestruturas em réplicas de diamante e recobrimentos de DLC.. 2006. Tese de Doutorado - Universidade de São Paulo (USP). Escola Politécnica (EP/BC) São Paulo.