Fabricação e caracterização elétrica de ponteiras de emissão de campo recobertas com filme fino DLC (Diamond Like Carbon)

• Processo: 03/09789-4
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Mestrado
• Data de Início da vigência: 01 de março de 2004
• Data de Término da vigência: 28 de fevereiro de 2005
• Área de conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica - Medidas Elétricas, Magnéticas e Eletrônicas, Instrumentação
• Pesquisador responsável: Marco Antonio Robert Alves
• Beneficiário: Lésnir Ferreira Porto
• Instituição Sede: Faculdade de Engenharia Elétrica e de Computação (FEEC). Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Campinas , SP, Brasil
• Vinculado ao auxílio: 00/04585-3 - Microdispositivos de emissão de campo a vácuo, AP.JP
• Assunto(s): Medidas elétricas Microeletrônica
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Emissao De Campo | Filme De Carbono | Medidas Eletricas | Microeletronica | Plasma | Ponteiras De Silicio

Resumo

Tem-se observado recentemente um crescente interesse no estudo e desenvolvimento de novos dispositivo e materiais por parte de empresas e instituições de pesquisa, que possam atender as mudanças exigidas pelo avanço tecnológico, principalmente no ramo da microeletrônica. Indo ao encontro desta linha científica atual, o trabalho proposto pelo requerente a bolsa, tem como objetivo estudar o comportamento elétrico das ponteiras de emissão de campo a vácuo (PECV) recobertas com filme fino de diamante tipo carbono (DLC). Este filme tem recebido especial atenção por parte da comunidade científica em virtude de suas propriedades físicas em relação a outros materiais, como por exemplo, baixa função trabalho, baixa afinidade eletrônica, e grande condutividade térmica. Esperamos obter PECV com baixa tensão de operação, alta densidade de corrente, e com baixa instabilidade de emissão. (AU)

Publicações acadêmicas

(Referências obtidas automaticamente das Instituições de Ensino e Pesquisa do Estado de São Paulo)

PORTO, Lésnir Ferreira. Fabricação e caracterização eletrica de ponteiras de emissão de campo recobertas com filme fino DLC (Diamond Like Carbon). 2005. Dissertação de Mestrado - Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Faculdade de Engenharia Elétrica e de Computação Campinas, SP.