Avaliação do uso de filmes obtidos pela polimerização por plasma de tetraetilortossilicato na fabricação de pré-concentradores

• Processo: 04/07705-0
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Doutorado
• Data de Início da vigência: 01 de outubro de 2004
• Data de Término da vigência: 30 de setembro de 2007
• Área de conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos
• Pesquisador responsável: Maria Lúcia Pereira da Silva
• Beneficiário: Rodrigo Amorim Motta Carvalho
• Instituição Sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
• Assunto(s): Microeletrônica Polimerização Plasma (microeletrônica)
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Microeletronica | Plasma | Sensor | Tecnologias Limpas | Teos | Umidade

Resumo

Este projeto completa estudos anteriormente desenvolvidos que demonstram que a polimerização por plasma de tetraetilortossilicato produz filmes com várias características interessantes, como proteção contra radiação ultravioleta e reação com água, a qual forma microcanais que permitem que o filme seja usado em sensores de umidade. Neste trabalho os microcanais serão avaliados quanto às seguintes características ou possibilidades de utilização: 1) modificação superficial por reação em fase vapor para utilização no desenvolvimento de pré-concentradores ou na produção de detectores para mTAS (miniaturized total chemical analysis system), 2) modificação em fase líquida para permitir a adsorção de íons metálicos e posterior redução destes para utilização na fabricação nanoclusters, úteis em células de combustível. Por fim, a utilização mais promissora será comparada com filme similar, obtido por processo úmido. (AU)

Publicações acadêmicas

(Referências obtidas automaticamente das Instituições de Ensino e Pesquisa do Estado de São Paulo)

CARVALHO, Rodrigo Amorim Motta. Uso de filmes obtido pela polimerização por plasma de tetraetilortossilicato na fabricação de dispositivos miniaturizados.. 2009. Tese de Doutorado - Universidade de São Paulo (USP). Escola Politécnica (EP/BC) São Paulo.