Texto completo
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| Autor(es): |
Marcelo Silva Guimarães
Número total de Autores: 1
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| Tipo de documento: | Dissertação de Mestrado |
| Imprenta: | São Paulo. , gráficos, ilustrações, tabelas. |
| Instituição: | Universidade de São Paulo (USP). Escola Politécnica (EP/BC) |
| Data de defesa: | 2002-03-18 |
| Membros da banca: |
Amilton Sinatora;
Marcelo Nelson Paez Carreno;
Luiz Otávio Saraiva Ferreira
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| Orientador: | Amilton Sinatora |
| Área do conhecimento: | Engenharias - Engenharia de Materiais e Metalúrgica |
| Indexada em: | Banco de Dados Bibliográficos da USP-DEDALUS; Biblioteca Digital de Teses e Dissertações - USP |
| Localização: | Universidade de São Paulo. Biblioteca Central da Escola Politécnica; FD-3030; Universidade de São Paulo. Escola Politécnica. Biblioteca de Engenharia Mecânica, Naval e Oceânica; FD-3030 |
| Resumo | |
Um fator importante para o desenvolvimento de projetos de microssistemas é o conhecimento de propriedades termomecânicas dos materiais e a compreensão dos mecanismos de falhas. Este trabalho estuda o comportamento mecânico de microvigas atuadas termicamente e propõem um método para ser utilizado na caracterização de propriedades termomecânicas de filmes finos. Fabricou-se vigas de Oxinitreto de Silício em que se aplicou a microscopia Nomarski para observar a deformação e a ocorrência do fenômeno de flambagem. (AU) | |
| Processo FAPESP: | 00/01068-8 - Estudo tribológico de um microdispositivo atuado termicamente |
| Beneficiário: | Marcelo Silva Guimarães |
| Modalidade de apoio: | Bolsas no Brasil - Mestrado |