Resumo
O presente projeto propõe o desenvolvimento e estudo de metodologia para controle da morfologia de superfícies em filmes finos. É objetivo do projeto a deposição de filmes finos pela técnica de sputtering em incidência oblíqua, o estudo da dinâmica de crescimento através de leis de escala. É também objetivo deste projeto a formação de padrões intencionais em filmes finos, particularmente …