| Processo: | 02/08486-5 |
| Modalidade de apoio: | Auxílio à Pesquisa - Pesquisador Visitante - Internacional |
| Data de Início da vigência: | 01 de novembro de 2002 |
| Data de Término da vigência: | 31 de outubro de 2003 |
| Área do conhecimento: | Ciências Exatas e da Terra - Física - Física dos Fluídos, Física de Plasmas e Descargas Elétricas |
| Pesquisador responsável: | Mario Ueda |
| Beneficiário: | Mario Ueda |
| Pesquisador visitante: | Konstantin Georgiev Kostov |
| Instituição do Pesquisador Visitante: | Sofia University St. Kliment Ohridski, Bulgária |
| Instituição Sede: | Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE). Ministério da Ciência, Tecnologia e Inovação (Brasil). São José dos Campos , SP, Brasil |
| Assunto(s): | Materiais metálicos |
| Palavra(s)-Chave do Pesquisador: | Implantacao Conforme | Modificacao De Superficies | Simulacao Por Particulas | Tecnologia De Plasma | Tratamentos Hibridos |
Resumo
O presente projeto de pesquisa ocupa-se da investigação teórica e experimental de implantação iônica por imersão em plasma (3IP) com forte ênfase no desenvolvimento experimental de processos Multiplex (ou Híbridos), para tratamentos de superfícies de materiais metálicos, semi-condutores e dielétricos, cujo objetivo principal é a obtenção de componentes industriais com superfícies de alto desempenho. Tratando de um tema com aplicações diretas em dopagem de trincheiras de semicondutores, estudos teóricos irão explorar, com base na técnica computacional de simulação por partículas, o conceito de implantação conforme em superfícies de formas complexas, como engrenagens e estruturas reentrantes. (AU)
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