Estudo comparativo do cálculo de tensões residuais em filmes de TiN por Difração de Raios X e por indentação instrumentada

Resumo

Este projeto tem como objetivo o cálculo de tensões residuais em filmes finos de nitreto de titânio (TiN) por dois métodos diferentes, para posterior comparação. Um dos métodos é a difração de raios-x que é tradicionalmente usada para esse fim. O outro é o ensaio de indentação instrumentada; técnica bem desenvolvida para cálculo de dureza e módulo de elasticidade, mas ainda não totalmente desenvolvida para cálculo de tensões residuais. Tentativas de medida dessas tensões com base nos dados de indentação instrumentada serão feitas com base no método proposto por Suresh & Giannakopoulos, bem como em métodos desenvolvidos mais recentemente. Ao longo do projeto, filmes de nitreto de titânio serão depositados em substratos de aço inoxidável em diversas corridas de deposição. Nas mesmas, os parâmetros de processo serão variados, de forma a obter-se filmes com diferentes níveis de tensão residual.