| Texto completo | |
| Autor(es): |
Pellegrini, Paloma E. S.
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De-Moraes, Luana
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Poma, Freddy Jara
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Nista, Silvia Vaz Guerra
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Cioldin, Frederico H.
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Hernandez-Figueroa, Hugo Enrique
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Moshkalev, Stanislav
Número total de Autores: 7
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| Tipo de documento: | Artigo Científico |
| Fonte: | SCIENTIFIC REPORTS; v. 15, n. 1, p. 11-pg., 2025-07-02. |
| Resumo | |
Many fields in science and industry rely on the advances of nanofabrication processes. However, well-established techniques, such as electron beam lithography, might pose restrictions on dielectric materials due to surface charging effects. We propose using pulsed thermal scanning probe lithography to directly assemble high resolution patterns on insulating substrates. We applied this methodology to meet the requirements of fabricating all-dielectric metasurfaces. The pulsed thermal scanning probe lithography process, operating in standard room conditions, provided sub-10nm resolution for patterning on silica without the need of any additional conductive layers. Thus, the proposed technique improves material compatibility for nanofabrication and consequently enables the exploration of dielectric material properties across a wide range of devices. (AU) | |
| Processo FAPESP: | 24/17026-7 - Projeto, Fabricação e Ensaio de Antenas e Metasuperfícies Fotônicas para Iluminação Pública Inteligente |
| Beneficiário: | Freddy Orlando Jara Poma |
| Modalidade de apoio: | Bolsas no Brasil - Doutorado |
| Processo FAPESP: | 21/11380-5 - CPTEn - Centro Paulista de Estudos da Transição Energética |
| Beneficiário: | Luiz Carlos Pereira da Silva |
| Modalidade de apoio: | Auxílio à Pesquisa - Centros de Ciência para o Desenvolvimento |
| Processo FAPESP: | 21/00199-8 - Redes e serviços inteligentes rumo 2030 (SMARTNESS) |
| Beneficiário: | Christian Rodolfo Esteve Rothenberg |
| Modalidade de apoio: | Auxílio à Pesquisa - Programa Centros de Pesquisa Aplicada |
| Processo FAPESP: | 22/11596-0 - EMU científico: aquisição de equipamentos de transmissão e caracterização para enlaces de dados em altíssima velocidade |
| Beneficiário: | Darli Augusto de Arruda Mello |
| Modalidade de apoio: | Auxílio à Pesquisa - Programa Infraestrutura - Científico |