Mechanical properties of boron nitride thin films obtained by RF-PECVD at low temperatures

Vilcarromero‚ J.; Carreño‚ MNP; Pereyra‚ I.

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(Referência obtida automaticamente do Google Scholar, por meio da informação sobre o financiamento pela FAPESP e o número do processo correspondente, incluída na publicação pelos autores.)

Mechanical properties of boron nitride thin films obtained by RF-PECVD at low temperatures

Texto completo
Autor(es):	Vilcarromero‚ J. ; Carreño‚ MNP ; Pereyra‚ I. Número total de Autores: 3
Tipo de documento:	Artigo Científico
Fonte:	Thin Solid Films; v. 373, n. 1, p. 273-276, 2000.

Processo FAPESP:	98/01766-5 - Nitreto de boro preparado pela técnica de PECVD em baixas temperaturas
Beneficiário:	Johnny Vilcarromero López
Modalidade de apoio:	Bolsas no Brasil - Pós-Doutorado

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