Mechanical and thermophysical properties of PECVD oxynitride films measured by MEMS

Guimarães‚ MS; Sinatora‚ A.; Alayo‚ MI; Pereyra‚ I.; Carreño‚ MNP

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(Referência obtida automaticamente do Google Scholar, por meio da informação sobre o financiamento pela FAPESP e o número do processo correspondente, incluída na publicação pelos autores.)

Mechanical and thermophysical properties of PECVD oxynitride films measured by MEMS

Texto completo
Autor(es):	Guimarães‚ MS ; Sinatora‚ A. ; Alayo‚ MI ; Pereyra‚ I. ; Carreño‚ MNP Número total de Autores: 5
Tipo de documento:	Artigo Científico
Fonte:	Thin Solid Films; v. 398, p. 626-631, 2001.

Processo FAPESP:	00/01068-8 - Estudo tribológico de um microdispositivo atuado termicamente
Beneficiário:	Marcelo Silva Guimarães
Modalidade de apoio:	Bolsas no Brasil - Mestrado

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