Local structure and bonds of amorphous silicon oxynitride thin films

Scopel‚ WL; Fantini‚ MCA; Alayo‚ MI; Pereyra‚ I.

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(Referência obtida automaticamente do Google Scholar, por meio da informação sobre o financiamento pela FAPESP e o número do processo correspondente, incluída na publicação pelos autores.)

Local structure and bonds of amorphous silicon oxynitride thin films

Texto completo
Autor(es):	Scopel‚ WL ; Fantini‚ MCA ; Alayo‚ MI ; Pereyra‚ I. Número total de Autores: 4
Tipo de documento:	Artigo Científico
Fonte:	Thin Solid Films; v. 413, n. 1, p. 59-64, 2002.

Processo FAPESP:	98/09806-6 - Propriedades eletrônicas e estruturais de óxido e oxi-nitreto de silício amorfo hidrogenado
Beneficiário:	Wanderlã Luis Scopel
Modalidade de apoio:	Bolsas no Brasil - Doutorado

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