Filmes de diamante CVD em grandes áreas obtidos por crescimentos sucessivos em etapas

Autor(es)

A.R. Alves ^[1] ; A. Amorim ; J. Eichenberger Neto ^[3] ; V.J. Trava-Airoldi ^[4] ; E.J. Corat ^[5] ; J.R. Moro ^[6]

Afiliação do(s) autor(es)

^[1] Universidade São Francisco. Engenharia e Ciência dos Materiais. Programa de Pós-Graduação Strictu Sensu

^[3] Universidade São Francisco. Engenharia e Ciência dos Materiais. Programa de Pós-Graduação Strictu Sensu

^[4] Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais. Laboratório Associado de Sensores e Materiais

^[5] Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais. Laboratório Associado de Sensores e Materiais

^[6] Universidade São Francisco. Engenharia e Ciência dos Materiais. Programa de Pós-Graduação Strictu Sensu

• Tipo de documento: Artigo Científico
• Fonte: MATERIA-RIO DE JANEIRO; v. 13, n. 3, p. 569-578, 2008-09-00.

Resumo

Buscou-se a redução da tensão intrínseca causada pelas impurezas que se agregam no processo de crescimento de um filme de diamante obtido por deposição química a partir da fase vapor (CVD, do inglês Chemical Vapor Deposition) em um reator de filamento quente (HFCVD), sobre um substrato de silício <100> de 250 µm de espessura em uma superfície de deposição de grande área (45 cm²), através da imersão da amostra, em uma solução saturada de H2SO4 e CrO3 e, em seguida, em uma solução 1:1 de H2O2:NH4OH. Após esse procedimento, nova etapa de crescimento era realizada. O filme de diamante CVD foi identificado e caracterizado por espectroscopia de espalhamento Raman (RSS, do inglês Raman Scattering Spectroscopy) e microscopia eletrônica de varredura (SEM, do inglês Scanning Electron Microscopy). A aplicação dessa técnica mostrou bons resultados, uma vez que, em relação a resultados obtidos anteriormente, se duplicou a espessura do filme de diamante CVD depositado, obtendo menor tensão residual sobre o filme de diamante. Foram obtidos filmes de diamante CVD de espessura de 60 mm, com alta qualidade e uniformidade. (AU)

• Processo FAPESP: 03/08930-5 - Crescimento de diamante-CVD em grandes áreas em reator assistido por filamento quente
• Beneficiário: João Roberto Moro
• Modalidade de apoio: Auxílio à Pesquisa - Regular