Equipamento multiusuário concedido no processo 2012/50259-8: equipamento de deposição de camadas atômicas

• Processo: 18/24380-0
• Linha de fomento: Auxílio à Pesquisa - Programa Equipamentos Multiusuários
• Vigência: 01 de fevereiro de 2019 - 31 de janeiro de 2026
• Área do conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica - Medidas Elétricas, Magnéticas e Eletrônicas, Instrumentação
• Pesquisador responsável: Eunezio Antonio de Souza
• Beneficiário: Eunezio Antonio de Souza
• Instituição-sede: Instituto Mackenzie de Pesquisas em Grafeno e Nanotecnologias. Universidade Presbiteriana Mackenzie (UPM). Instituto Presbiteriano Mackenzie. São Paulo , SP, Brasil
• Vinculado ao auxílio: 12/50259-8 - Grafeno: fotônica e opto-eletrônica: colaboração UPM-NUS, AP.SPEC
• Assunto(s): Fotônica Grafenos Microfabricação Deposição de camada atômica Dispositivos eletrônicos Dispositivos ópticos
• Página web do EMU: https://www.mackenzie.br/mackgraphe/pesquisa/equipamento-multiusuario/
• Tipo de equipamento: Processos Físicos - Litografia - Laser; Processos Físicos - Litografia - Óptica; Processos Físicos - Deposição filmes finos - Evaporador
• Fabricante: Quantum Design
• Modelo: GEM-Star XT-S

Resumo

Este equipamento permite a fabricação de dispositivos eletro-ópticos utilizando técnica de deposição de filmes finos de espessura atômica. Com ele será possível depositar camadas dielétricas da ordem de alguns nanômetros em estruturas capacitivas baseadas em materiais bidimensionais. (AU)