Diagnóstico com espectrometria de massa em ambiente de crescimento de diamante

• Processo: 93/04690-6
• Modalidade de apoio: Auxílio à Pesquisa - Regular
• Data de Início da vigência: 01 de abril de 1994
• Data de Término da vigência: 31 de agosto de 1996
• Área do conhecimento: Ciências Exatas e da Terra - Física - Física da Matéria Condensada
• Pesquisador responsável: Evaldo Jose Corat
• Beneficiário: Evaldo Jose Corat
• Instituição Sede: Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE). Ministério da Ciência, Tecnologia e Inovação (Brasil). São José dos Campos , SP, Brasil
• Assunto(s): Filmes finos de diamante Diamantes CVD Técnicas moleculares Espectrometria de massas
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Cvd | Diagnostico "In Situ" | Diamante | Espectrometria De Massa | Jato Molecular

Resumo

Diagnóstico de espécies estáveis e radicais químicos envolvidos, no processo de crescimento de filmes de diamante, através de espectrometria de massa. Será feito diagnóstico, do gás de exaustão, com amostragem por uma micro-ponta de prova para coletar os gases na região reativa, e com amostragem em esquema de jato molecular. A amostragem em jato molecular permite a análise direta de espécies estáveis e de radicais. Com este diagnóstico pretende-se identificar os possíveis precursores do crescimento de diamante, principalmente quando um gás halogêneo é adicionado à mistura de gases. Estes experimentos serão realizados em reatores assistido por filamento quente, jato de plasma e micro-ondas. (AU)