| Processo: | 97/07421-7 |
| Modalidade de apoio: | Auxílio à Pesquisa - Regular |
| Data de Início da vigência: | 01 de novembro de 1997 |
| Data de Término da vigência: | 31 de julho de 2000 |
| Área do conhecimento: | Ciências Exatas e da Terra - Física - Física da Matéria Condensada |
| Pesquisador responsável: | Marcio Alberto Araujo Pudenzi |
| Beneficiário: | Marcio Alberto Araujo Pudenzi |
| Instituição Sede: | Instituto de Física Gleb Wataghin (IFGW). Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Campinas , SP, Brasil |
| Assunto(s): | Espectrometria de massas Microeletrônica Semicondutores |
| Palavra(s)-Chave do Pesquisador: | Caracterizacao | Espectrometria De Massa | Microeletronica | Semicondutores |
Resumo
Projeto emergencial para compra de bombas de vácuo turbo-moleculares, associado ao Projeto Temático FAPESP: Eng. Elét. 92/3453-8 - "Tecnologia HBIFET: Processo e caracterização". (AU)
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