Desenvolvimento de uma infraestrutura para o processamento de circuitos integrados monolíticos de silício e arseneto de gálio

• Processo: 94/04565-0
• Modalidade de apoio: Auxílio à Pesquisa - Programa Infraestrutura
• Data de Início da vigência: 01 de março de 1995
• Data de Término da vigência: 29 de fevereiro de 1996
• Área do conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica
• Pesquisador responsável: Megumi Saito
• Beneficiário: Megumi Saito
• Instituição Sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
• Assunto(s): Recursos para a pesquisa Infraestrutura Equipamentos e provisões

Resumo

Este projeto destina-se a reforma da infraestrutura do laboratório de processos e das salas limpas do LME-EPUSP, uma vez que nos últimos 10 anos não temos recebido verba para infraestrutura e nesses 25 anos de existência encontra-se numa situação bem delicada necessitando urgentemente de reforma geral. A verba solicitada refere-se a materiais para troca da instalação elétrica, hidráulica, gases, água DI e reparo de alguns equipamentos. Também inclui a compra de alguns equipamentos para infraestrutura com bomba d’água, exaustores, bombas de vácuo, etc e finalmente a construção de mezanino troca de fornos das salas limpas, pisos do laboratório, etc. (AU)