Microdispositivos de emissão de campo a vácuo

• Processo: 00/04585-3
• Modalidade de apoio: Auxílio à Pesquisa - Jovens Pesquisadores
• Data de Início da vigência: 01 de setembro de 2000
• Data de Término da vigência: 30 de junho de 2005
• Área do conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos
• Pesquisador responsável: Marco Antonio Robert Alves
• Beneficiário: Marco Antonio Robert Alves
• Instituição Sede: Faculdade de Engenharia Elétrica e de Computação (FEEC). Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Campinas , SP, Brasil
• Bolsa(s) vinculada(s): 03/09789-4 - Fabricação e caracterização elétrica de ponteiras de emissão de campo recobertas com filme fino DLC (Diamond Like Carbon), BP.MS; 02/02374-0 - Fabricacao e caracterizacao eletrica de ponteiras de emissao de campo em alto vacuo., BP.IC; 02/02373-4 - Automatização de um sistema de caracterização elétrica de ponteiras de emissão de campo em alto vácuo, BP.IC; 00/08493-6 - Microdispositivos de emissão de campo a vácuo, BP.JP
• Assunto(s): Plasma (microeletrônica) Vácuo Dispositivos eletrônicos Diodos
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Emissao De Campo | Microtriodo | Plasma | Vacuo
• Publicação FAPESP: https://media.fapesp.br/bv/uploads/pdfs/Investindo...pesquisadores_453_310_310.pdf

Resumo

O objetivo deste projeto é o desenvolvimento dos processos de fabricação e o estudo do comportamento físico de microdispositivos de emissão de campo a vácuo. Dentre os microdispositivos que pretendemos fabricar estão os "arrays" de ponteiras de emissão de campo, microdiodos e microtriodos. O projeto pode ser dividido em três partes: 1) estudo e desenvolvimento dos processos de corrosão (úmida e seca) do silício para a fabricação de ponteiras de emissão de elétrons. As ponteiras fabricadas no silício serão utilizadas como ponteiras de emissão (parte ativa do dispositivo) ou também como substrato para a fabricação de ponteiras de emissão com outros materiais (W, Ta, Pt, carbono amorfo); 2) desenvolvimento dos processos de fabricação e caracterização elétrica de microdiodos à vácuo; 3) desenvolvimento dos processos de fabricação e caracterização elétrica de microtriodos à vácuo. O objetivo dos itens 2 e 3, é obter dispositivos que possam operar com baixa tensão de polarização, alta densidade de corrente de emissão, alta frequência de corte, baixo ruído, longo tempo de vida e estabilidade de emissão. (AU)