| Processo: | 96/10931-4 |
| Modalidade de apoio: | Auxílio à Pesquisa - Programa Infraestrutura - Gerais |
| Data de Início da vigência: | 01 de janeiro de 1998 |
| Data de Término da vigência: | 31 de outubro de 1999 |
| Área do conhecimento: | Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos |
| Pesquisador responsável: | Ines Pereyra |
| Beneficiário: | Ines Pereyra |
| Instituição Sede: | Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil |
| Assunto(s): | Desenvolvimento de novos materiais Modernização Projetos de infraestrutura Infraestrutura de pesquisa Recursos para a pesquisa Infraestrutura |
Resumo
O projeto objetiva a modernização, melhora na segurança e adequação ás atuais necessidades das salas de PECVD e de caracterização de novos materiais do laboratório de microeletrônica do Departamento de Engenharia Eletrônica da Escola Politécnica da USP. (AU)
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