Estudos da corrosao anisotropica do silicio frente solucoes de koh contaminadas com sais metalicos.

• Processo: 03/11633-2
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Iniciação Científica
• Data de Início da vigência: 01 de março de 2004
• Data de Término da vigência: 31 de agosto de 2004
• Área de conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica
• Pesquisador responsável: Humber Furlan
• Beneficiário: Felipe Jose Ferreira Sabino da Silva
• Instituição Sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
• Assunto(s): Microestruturas Sistemas microeletromecânicos Microusinagem
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Anisotropic Etching | Mems | Microestruturas | Microusinagem | Silico Monocristalino

Resumo

Objetivo: Estudar as diferentes taxas de ataque químico em diferentes planos cristalográficos do Si com soluções de KOH contendo diferentes contaminantes Introdução: A utilização do silício metálico como matéria prima para a indústria química tem crescido constantemente desde a descoberta da reação de "síntese direta" de organo-halogenosilanos. Este efeito poderá ser mais bem entendido a partir de informações das ações de elementos catalizadores na dissolução ou síntese do silício a partir de misturas de contaminantes metálicos (catalizadores). Dessa maneira, vemos que o estudo da variação da anisotropia poderá contribuir para que ocorra um processo de síntese direta do silício a baixas temperaturas. Metodologia: Estudo da teoria da corrosão anisotrópica, elaboração das amostras e soluções químicas, caracterizar as aostras corroídas com SEM, MO, e M. Confocal, analise dos dados obtidos e elaboração da monografia. (AU)