Desenvolvimento e fabricacao de dispositivos submilimetricos para medida de gradientes de temperatura.

• Processo: 03/08010-3
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Pós-Doutorado
• Data de Início da vigência: 01 de abril de 2004
• Data de Término da vigência: 31 de março de 2006
• Área de conhecimento: Ciências Exatas e da Terra - Física - Física da Matéria Condensada
• Pesquisador responsável: Maria Cecília Barbosa da Silveira Salvadori
• Beneficiário: Alfredo Rodrigues Vaz
• Instituição Sede: Instituto de Física (IF). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
• Assunto(s): Propriedades de transporte Microfabricação Filmes finos
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Filmes Finos | Gradientes De Temperaturas | Mems E Nems | Microfabricacao | Propriedades De Transporte | Termopar

Resumo

Com a crescente miniaturização de sistemas elétricos e mecânicos surgiu uma nova classificação desses dispositivos, os quais foram chamados de MEMS e NEMS (Micro and Nano Electro Mechanical Systems) e consequentemente surgiu à necessidade cada vez maior do controle preciso de diversos parâmetros físicos em escala micro e nanométrica. Dessa forma uma das áreas ainda pouco explorada está ligada ao controle de gradientes de temperatura em microescala. Assim, propomos neste trabalho a construção de um conjunto de termopares feitos a partir de filmes finos depositados por MePIIID (Metal Plasma Immersion Ion Implantation and Deposition ). A redução das dimensões do termopar também permite explorar as mudanças que a miniaturização causa nas propriedades de transporte dos materiais envolvidos tais como: a condutividade elétrica, condução de calor, mudança no nível de fermi devido a redução das dimensões, caminho livre médio dos elétrons etc. Assim a proposta deste projeto é desenvolver um processo para a microfabricação de termopares para medidas de gradientes de temperatura em distâncias micrométricas, além de explorar os efeitos termoelétricos em filmes finos. (AU)