Novos materiais para emissao de campo.

• Processo: 03/05327-6
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Pós-Doutorado
• Data de Início da vigência: 01 de novembro de 2003
• Data de Término da vigência: 31 de outubro de 2005
• Área de conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos
• Pesquisador responsável: Alaide Pellegrini Mammana
• Beneficiário: Simone Camargo Trippe
• Instituição Sede: Centro de Tecnologia da Informação Renato Archer (CTI). Campinas , SP, Brasil
• Assunto(s): Dispositivos eletrônicos Filmes finos de carbono tipo diamante (DLC) Pulverização catódica Displays Dióxido de estanho
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Dioxido De Estanho | Displays | Dispositivos Eletronicos | Dlc | Emissa Por Campo Eletrico | Sputtering

Resumo

Neste projeto propomos investigar os DLCs (diamond-like carbon) obtidos pela técnica de sputtering RF em plasma de CF4 e CH4, e o SnO2 obtidos pela técnica de decomposição de vapores. Os filmes serão depositados em diferentes parâmetros de processo e em diferentes substratos. Serão caracterizados quanto a composição estequiométrica, concentração de flúor, morfologia, rugosidade, espessura, dureza, aderência, stress, índice de refração, transmitância ao visível e ao infravermelho, seletividade a ataque químico, condutividade elétrica e mecanismos de condução, permissividade dielétrica. O estudo da emissão por campo elétrico será feito em filmes de diferentes espessuras e rugosidade depositados sobre camadas de metal, como por exemplo Ti, W ou Au (catodos planares). Estruturas com pontas cilíndricas ou cônicas serão também desenvolvidas para o estudo da influência da geometria na emissão. O comportamento na emissão de elétrons por efeito de campo elétrico nos materiais estudados, será feita estabelecendo-se sua dependência com as características dos filmes e buscando as condições de processo que otimizem a emissão. Este projeto será realizado na Divisão de Mostradores de Informação do CenPRA onde estão disponíveis facilidades para a deposição e caracterização dos materiais a serem investigados. (AU)