Construção e otimização de um sistema versátil para deposição de filmes finos utilizando plasma

• Processo: 96/05852-8
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Doutorado
• Data de Início da vigência: 01 de janeiro de 1997
• Data de Término da vigência: 30 de novembro de 2000
• Área de conhecimento: Ciências Exatas e da Terra - Física - Física da Matéria Condensada
• Pesquisador responsável: Maria Cecília Barbosa da Silveira Salvadori
• Beneficiário: Victor Pellegrini Mammana
• Instituição Sede: Instituto de Física (IF). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Canhao | Deposicao | Filmes | Filtro De Particulas | Plasma

Resumo

O equipamento a ser otimizado e construído neste projeto é bastante versátil, incluindo a possibilidade de deposição de filmes finos de alguns óxidos, nitretos, carbetos, ligas metálicas e especialmente diamondlike livre de hidrogênio. Esta técnica ainda inclui a possibilidade de implantação iônica, visto que é utilizado um bias pulsado no porta objeto. A otimização deste sistema será feita por partes. Inicialmente o canhão de plasma será estudado via simulação, onde uma otimização da corrente entre catodo e anodo, e a focalização do plasma deverá ser feita, introduzindo-se campos elétricos e ou magnéticos calculados. Em seguida, o filtro de partículas será também estudado, igualmente através de simulações, considerando como ponto de partida a saída do canhão otimizado. Desta forma espera-se obter resultados de maior taxa de deposição de filmes finos de alta qualidade. Ainda como resultado desta tese, deverá ser desenvolvido e produzido experimentalmente um circuito sobre membrana de diamante, através do equipamento aqui proposto, com objetivo de medir temperatura de gases, com curto tempo de resposta. (AU)

Publicações acadêmicas

(Referências obtidas automaticamente das Instituições de Ensino e Pesquisa do Estado de São Paulo)

MAMMANA, Victor Pellegrini. Novos processos e configurações para mostradores planos de informação. 2000. Tese de Doutorado - Universidade de São Paulo (USP). Instituto de Física (IF/SBI) São Paulo.