| Processo: | 96/05852-8 |
| Modalidade de apoio: | Bolsas no Brasil - Doutorado |
| Data de Início da vigência: | 01 de janeiro de 1997 |
| Data de Término da vigência: | 30 de novembro de 2000 |
| Área de conhecimento: | Ciências Exatas e da Terra - Física - Física da Matéria Condensada |
| Pesquisador responsável: | Maria Cecília Barbosa da Silveira Salvadori |
| Beneficiário: | Victor Pellegrini Mammana |
| Instituição Sede: | Instituto de Física (IF). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil |
| Palavra(s)-Chave do Pesquisador: | Canhao | Deposicao | Filmes | Filtro De Particulas | Plasma |
Resumo O equipamento a ser otimizado e construído neste projeto é bastante versátil, incluindo a possibilidade de deposição de filmes finos de alguns óxidos, nitretos, carbetos, ligas metálicas e especialmente diamondlike livre de hidrogênio. Esta técnica ainda inclui a possibilidade de implantação iônica, visto que é utilizado um bias pulsado no porta objeto. A otimização deste sistema será feita por partes. Inicialmente o canhão de plasma será estudado via simulação, onde uma otimização da corrente entre catodo e anodo, e a focalização do plasma deverá ser feita, introduzindo-se campos elétricos e ou magnéticos calculados. Em seguida, o filtro de partículas será também estudado, igualmente através de simulações, considerando como ponto de partida a saída do canhão otimizado. Desta forma espera-se obter resultados de maior taxa de deposição de filmes finos de alta qualidade. Ainda como resultado desta tese, deverá ser desenvolvido e produzido experimentalmente um circuito sobre membrana de diamante, através do equipamento aqui proposto, com objetivo de medir temperatura de gases, com curto tempo de resposta. (AU) | |
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