Estudo tribológico de um microdispositivo atuado termicamente

• Processo: 00/01068-8
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Mestrado
• Data de Início da vigência: 01 de abril de 2000
• Data de Término da vigência: 31 de março de 2002
• Área de conhecimento: Engenharias - Engenharia de Materiais e Metalúrgica - Metalurgia Física
• Pesquisador responsável: Amilton Sinatora
• Beneficiário: Marcelo Silva Guimarães
• Instituição Sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
• Assunto(s): Tribologia Atrito Desgaste (tribologia) Diamantes CVD Microtecnologia
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Atrito | Desgaste | Materiais | Micromaquinas | Microtecnologia | Tribiologia

Resumo

Com a realização deste trabalho pretende-se construir microdispositivos com atuação térmica e estudar o seu comportamento. Para isto, serão construídas "micromáquinas" utilizando o DLC (Diamond Like Carbon) como material estrutural e o Si-poli (Silício Policristalino) dopado como material condutor. Serão realizados experimentos com os dispositivos utilizando microscópios óptico e de força atômica, com o intuito de medir o deslocamento e analisar as superfícies de interação do atuador. (AU)

Publicações científicas

(Referências obtidas automaticamente do Web of Science e do SciELO, por meio da informação sobre o financiamento pela FAPESP e o número do processo correspondente, incluída na publicação pelos autores)

GUIMARÃES‚ MS; SINATORA‚ A.; ALAYO‚ MI; PEREYRA‚ I.; CARREÑO‚ MNP. Mechanical and thermophysical properties of PECVD oxynitride films measured by MEMS. Thin Solid Films, v. 398, p. 626-631, 2001. (00/01068-8)

Publicações acadêmicas

(Referências obtidas automaticamente das Instituições de Ensino e Pesquisa do Estado de São Paulo)

GUIMARÃES, Marcelo Silva. Proposta de método para caracterização de propriedades termomecânicas de filmes finos utilizando dispositivos MEMS.. 2002. Dissertação de Mestrado - Universidade de São Paulo (USP). Escola Politécnica (EP/BC) São Paulo.