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AMORPHOUS HYDROGENATED CARBON FILM

EscritórioCIPO
Tipo de documento:Patente
Inventor(es): Luiz Gonçalves Neto; Ronaldo Domingues Mansano; Giuseppe Antonio Cirino; Luis Da Silva Zambom
Depositante:Fundação de Amparo à Pesquisa do Estado de São Paulo (FAPESP); Universidade de São Paulo (USP).
Ano: 2002
Número do Pedido:CA 2458299
IPC: C23C 14/06 C23C 14/34 C23C 16/26
Resumo

The present invention concerns an improved process for the deposition of amorphous hydrogenated carbon film, more specifically an improved low temperature, low power and low vacuum cathodic sputtering process. The invention also concerns the film produced by said process and articles containing an amorphous hydrogenated carbon film coating.


Processo FAPESP: 00/11117-6 - Filmes de carbono tipo diamante (DLC - Diamond Like Carbon) para aplicações ópticas, aeronáuticas e mecânicas
Beneficiário:Ronaldo Domingues Mansano
Pesquisador responsável:Ronaldo Domingues Mansano
Instituição: Universidade de São Paulo (USP). Escola de Engenharia de São Carlos (EESC)
Modalidade de apoio: Auxílio à Pesquisa - Programa de Apoio à Propriedade Intelectual (PAPI/Nuplitec)