Resumo
A tecnologia Silício-sobre-Isolante (Silicon-on-Insulator - SOI) tem evoluído e oferecido novas arquiteturas para os dispositivos, como os transistores SOI de múltiplas portas (SOI MuGFETs), que possuem excelentes características elétricas. Entre os novos dispositivos, o FinFET tem se mostrado um excelente candidato às futuras aplicações industriais. Por sua complexidade construtiva e dim…