CV Lattes
Ministério da Ciência, Tecnologia e Inovação (Brasil). Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) (Instituição Sede da última proposta de pesquisa) País de origem: Brasil
Bacharelado em Fisica - Unicamp (1977) Doutorado em Física - Brown University (1983). Atualmente é pesquisador do Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais - INPE Foi o coordenador do primeiro grupo do Brasil a fabricar dispositivos MEMS (sensores de pressão e aceleração). Experiencia com as próprias mãos em litografia UV, processos de fornos, deposições a vácuo, usinagem química, "fusion bonding", solda anódica, layouts em L-Edit, fabricação de máscaras, modelamento de dispositivos, infraestrutura para micro fabricação. Atualmente está envolvido em um projeto que visa obtenção de giroscópios MEMS e outros de interesse espacial. (Fonte: Currículo Lattes)
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Pesquisa experimental em processos de fabricação micromecânica. Serão realizados experimentos visando elucidar aspectos científicos e práticos de: - corrosão anisotrópica do silício em solução de KOH e de (CH3)H N OH; - deposição de vidros sobre Si por sputtering e evaporação; adesão silício-silício com camada intermediária de vidro depositário; adesão silício-silício com camada intermedi…
Será instalado um processo básico de oxidação úmida para formação de SiO2 usado como máscara em corrosão química anisotrópica do silício. Amostras apropriadamente mascaradas serão corroídas em um reator que permite o uso ou não de ultrassom, além de temperatura e agitação controladas. As máscaras utilizadas permitirão obter os pontos de máximo e mínimo locais do diagrama de velocidade de …
Será estudada a corrosão química do silício, dependente da orientação cristalográfica, visando o controle e a determinação quantitativa dos efeitos de: bolhas, configuração de fluxo, adição de oxidantes, e proximidade de outros sólidos; em superfícies planas e em cavidades. A superfície do silício será imageada in-situ e em tempo real por microscopia óptica, e caracterizada ex-situ por mi…
Será feita e caracterizada a solda eletrostática entre laminas de vidro e de silício. Serão depositadas camadas de sílica, vidros corning 7740 e 7570 por "electron-beam", "flash evaporation" e "laser ablation". Os métodos de deposição serão comparados e as camadas depositadas serão caracterizadas quimicamente e por espectroscopia. As camadas de vidro depositado serão usadas para solda ele…
1) Será feita uma apresentação oral em um simpósio do SPIE, em San Francisco, Califórnia, EUA, 21-24 Outubro 2001 2) Serão fabricadas microestruturas de silício dopado com gálio, na Universidade da Califórnia em Davis, EUA, usando máscaras projetadas pelo autor no LAS-INPE e já fabricadas e prontas na U. Califórnia. Essas estruturas serão usadas para caracterizar as propriedades mecânicas…