Resumo
Transistores SOI tem se constituído como uma importante alternativa à tecnologia CMOS convencional, impulsionando a contínua redução de dimensões de dispositivos em circuitos integrados. Quando fabricados em camadas de silício e de óxido enterrado ultrafinos (ultra-thin body and BOX, UTBB), estes transistores apresentam características elétricas bastante atrativas, melhorando a mobilidade…